APA 溶液噴霧による高性能エアフィルタ沪材に 堆積した粒子の再飛散防止技術の確立

摘要

ナノ粒子を扱う施設では汚染物質の混入や漏洩を防 ぐために,給排気ユニット内にHEPA フィルタ沪材が 導入されている。しかし,フィルタ交換をする際の振 動等により堆積粒子が再飛散することで,作業員への 曝露が問題視される。そこで本研究では,凝集沈殿剤 であるポリアクリルアミド両性電解質（APA: Acrylamide Poly-Ampholyte）溶液を用いてHEPA フィ ルタ沪材に捕捉された粒子の再飛散を防止するととも に,沪材の長寿命化を目的とした。今回実験で使用し た沪材は,HEPA グレードのフィルタユニットに使用 されるガラス沪材と従来の沪材の代替フィルタとして 期待されるPTFE 沪材の2種類を用いて比較検討した。