α-Fe_2O_3 バッファー層を用いたr 面α-Al_2O_3 基板上の準安定相rh-ITO エピタキシャル薄膜の成長と評価

摘要

透明導電膜は液晶ディスプレイの透明電極や太陽電池の入射側電極として、既に社会で広く用いられている。そのなかでも酸化インジウムスズ(ITO)は高い可視光透過率と電気導電性を持つため透明導電膜の中で最も多く用いられている。