炭化水素反応用シリカ膜の開発

摘要

石油化学産業での分離精製コストの削減のために、無機分離膜が注目されている。ここでは、水素分離性に強みを示すアモルファスシリカ系の膜に注目した。我々は、対向拡散CVD（化学蒸着）法によるシリカ膜の開発を進めてきた。特に、透過性向上、選択性制御のために、シリカ源に有機置換基を挿入した検討を行っている。ここでは、炭化水素の脱水素反応への適用を想定し、高温での水素/炭化水素分離の可能性について検討を行った。