(352-0046)ポリイミド／形状記憶合金複合膜アクチュエータの特性評価?設計ツールの開発

摘要

形状記憶合金薄膜はマイクロアクチュエータとして注目されており、大きさとしては数十ミクロン～２０ミリ程度が想定されている。このようにアクチュエータの寸法が広い範囲に渡っており、また微細加工が必要なために個々のアクチュエータを作製して特性評価を行うことは困難である。本研究では、簡単なシミュレーションツールを作製することにより、複合膜のアクチュエータ特性（力とストローク）に与える寸法因子（厚さ、長さ、幅）と物性因子（ヤング率、弾性限、変態ひずみ）の効果を明らかにした。