Optische Greifkraftsensorik aus SU-8 fur Mikrogreifer

摘要

Um lebende Zellproben wahrend ihrer Untersuchung automatisiert handhaben zu konnen, sollen Mikrogreifer eingesetzt werden. Um die empfindliche Zellphysiologie jedoch nicht ungewollt mit elektromagnetischen Feldern der notwendigen Sensorik und Aktorik der Greifer zu beeinflussen, wird am Institut fur Mikrotechnik (IMT) ein neuartiges Konzept einer Greifkraftsensorik fur Mikrogreifer untersucht. Dafur werden elastische Parallelogrammstrukturen in die Greifbacken eines pneumatischen Mikrogreifers integriert, deren Verformung bildgestutzt ausgewertet werden soll. Dieses Konzept wird anhand von Ablesestrukturen nach dem Prinzip der Nonius-Skala vorgestellt und die Funktionsfahigkeit durch Kraft-Weg-Messungen nachgewiesen.