Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stossereignissen

摘要

Es wird ein Mikrosystem prasentiert, welches die Erfassung und Speicherung mehrerer Grenzwertbeschleunigungen erlaubt, so dass eine diskrete Summierung bzw. eine Angabe zur Starke des aufgetretenen Beschleunigungsereignisses moglich wird. Eine federgefuhrte seismische Masse ist Teil eines Rastmechanismus und nimmt abhangig vom ausseren Beschleunigungsereignis fortschreitende Rastpositionen ein. Das Design wurde in SOI-(Silicon-on-Insulator) Technik umgesetzt und das mechanische Verhalten charakterisiert. Dabei wurden verschiedene Beschleunigungsschwellen zwischen 5 g und 30 g gemessen. Zudem kann das System mittels integrierter elektrostatischer Aktoren initialisiert werden. Das System benotigt keine elektrische Energie fur die Erfassung und Speicherung von Beschleunigungsereignissen und ist somit zur Uberwachung von wenigen, aber funktionskritischen Beschleunigungsstossen uber grosse Zeitraume (Jahre) geeignet.