アミノベンゼンを用いた窒素ドープDLC（N：C-H）膜の成膜と特性評価

摘要

DLC（Diamond-Like Carbon）膜はダイヤモンドでは実現が困難とされている表面潤滑性に優れ、かつ高硬度で優れた耐摩耗性を有することから、種々の機械構造部品および金型部品への適用がなされている。DLC膜に窒素をドープしたN：C-H膜の成膜には窒素ガスを用いる場合がほとhどでおるが、アミノベンゼンを用いてN：C-H膜を成膜してその特性を評価した例は見当たらない。本研究では、プラズマイオン注入成膜（PBIID）法を用いて、アミノベンゼンを原料としたN：C-H膜の成膜について検討し、N：C-H膜の硬さ試験および摩擦摩耗試験などを実施した。