塔状弾性体を搭載したアクティブ除振台の上下?水平方向制振制御

摘要

高精度の精密機器は微小な振動で，性能?精度が低下する．この微小な振動対策として，除振装置の研究が様々に行われている．その多くは地面からの振動絶縁のみを考慮したものである．しかし，除振台に大型の精密機器や縦長の形状をしているものを搭載したときには，搭載物による連成振動が生じ，除振台と搭載物が一体となって揺れるような振動が発生することが問題となっている．本研究では除振台のみを用いた制御で振動絶縁と制振効果を与えることを目指す．そのために，塔状弾性搭載物の振動特性も考慮したモデリング，制御系の設計を行う．設計をするにあたり，水平，上下，回転それぞれの制振性能と除振性能を段階的に確認していく．先行研究(1)では，水平方向及び上下方向における個々の制振性能と除振性能について確認できている．本研究では，この水平方向と上下方向の同時制御を行うことにより，更なる制御性能の向上を目的とする．