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机译:同轴电电极系统中等离子体鞘运动
V V Vikhrev; E I Dodulad;
机译:同轴等离子体放电中的等离子体电流鞘运动
机译:等离子体同轴加速器轴向轴相估计等离子体鞘厚度和颗粒数密度
机译:欧拉,欧拉-泊松系统的自相似等温无旋运动和等离子体鞘的形成
机译:各向同性无碰撞等离子体中围绕电极的时间相关鞘层的数值模拟。
机译:具有开放式同轴电极的水和生物系统中水的分形行为的物理意义
机译:用于控制大气气体污染的冷等离子体产生装置,具有中心电极和螺旋形外部电极,该装置通过在同轴电极之间形成放电来产生冷等离子体
机译:射频方法,通过使用具有对称进给结构的辅助电极来调制等离子处理腔室中的晶片边缘鞘,并在无源方式中将功率控制为无功,并且将对称功率输入到有功功率中时,允许对地进行可控的阻抗
机译:当采用辅助电极采用对称馈电结构和无源方法的辅助电极来调制等离子处理腔室中晶圆边缘鞘的方法时,可驱动可控阻抗,使对称射频功率有效地输入到等离子中
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