Wire-grid polarizers; microelectromechanical system physical force sensor; infrared light source; optical contactless sensing; laser interference lithography.;
机译:利用凹劳埃德镜通过激光干涉光刻制造的周期-光栅
机译:劳埃德镜面干涉光刻系统中的线宽均匀性
机译:液浸Lloyd镜干涉光刻技术制备亚波长周期纳米结构
机译:由劳埃德的镜面激光干涉光刻系统图案化的WGP结构集成到MEMS物理传感器设备中
机译:激光干涉光刻技术,用于大面积构图和功能纳米结构的制造
机译:超越CMOS:III-V器件RF MEMS和其他异种材料/器件与Si CMOS的异构集成以创建智能微系统
机译:激光干涉光刻纳米图形化:应用于 光学设备