机译:用TEMAV和O_3前驱物ALD合成VO_2薄膜的工艺研究与表征。
机译:用原子层沉积的ZnO薄膜沉积新型锌前体的合成与表征
机译:通过原子层沉积和后处理合成的热致变色钒二氧化钒(VO_2)薄膜
机译:以TEMAV为前体原子层沉积合成VO_2薄膜。
机译:4族和第一行过渡金属的酰胺酸盐,碳酰肼和酰胺氮杂酸盐配合物的合成和表征,作为金属和金属氧化物薄膜原子层沉积的潜在前体
机译:通过等离子体增强的原子层沉积使用四甲基(二甲基氨基)钛(TDMAT)和四氯化钛(TiCl4)前体制备的锡薄膜的数据集
机译:来自W2(NME2)6和水的氧化钨(III)氧化物薄膜的原子层沉积:薄膜材料中的氧化态的基于前体的控制