氧化铝薄膜的原子层沉积制备及反射式高能电子衍射仪在生长中的应用研究

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致谢

序言

1 绪论

1.1 引言

1.2 氧化铝薄膜概述

1.2.1 氧化铝薄膜的特点

1.2.2 氧化铝薄膜的制备方法

1.3 原子层沉积技术

1.3.1 原子层沉积技术简介

1.3.2 原子层沉积在光学领域的应用

1.3.3 原子层沉积的优势与挑战

1.4 反射式高能电子衍射仪

1.4.1 反射式高能电子衍射仪简介

1.4.2 反射式高能电子衍射仪的研究现状

1.5 论文的主要研究内容

2 氧化铝薄膜的制备和表征

2.1 引言

2.2 实验部分

2.2.1 沉积设备及试剂

2.2.2 表征方法

2.3 氧化铝薄膜的原子层沉积制备

2.3.1 衬底准备

2.3.2 反应原理

2.3.3 工艺流程

2.4 不同生长条件的氧化铝薄膜性能研究

2.4.1 沉积腔室压强对Al2O3薄膜性能的影响

2.4.2 沉积温度对Al2O3薄膜性能的影响

2.4.3 前驱体脉冲时间对Al2O3薄膜性能的影响

2.4.4 前驱体吹扫时间对Al2O3薄膜性能的影响

2.5 本章小结

3 基于氧化铝栅介质层的有机场效应晶体管

3.1 引言

3.2 有机场效应晶体管简介

3.2.1 器件结构

3.2.2 器件工作原理

3.3 氧化铝绝缘层有机场效应晶体管研究

3.3.1 制备步骤

3.3.2 氧化铝绝缘层输出转移特性分析

3.4 本章小结

4 反射式高能电子衍射仪在原子层沉积中的实时原位监测

4.1 引言

4.2 实验仪器

4.2.1 原子层沉积系统的改装

4.2.2 反射式高能电子衍射仪安装

4.3 实时原位监测系统

4.3.1 操作步骤

4.3.2 反射式高能电子衍射仪衍射斑点研究

4.3.3 反射式高能电子衍射仪振荡曲线研究

4.4 集成系统改进

4.5 本章小结

5 结论

参考文献

作者简历

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