Resonant micro-accelerometer; Electrostatic stiffness; Plane resonator; Torsional accelerometer; Scale factor;
机译:基于静电刚度的新型Z轴谐振微加速度计
机译:新型双轴硅谐振微加速度计的设计与仿真
机译:具有高相对灵敏度的MEMS共振加速度计,基于静电诱导刚度扰动的感测方案
机译:基于静电刚度的新型Z轴谐振微观仪的设计与仿真
机译:基于结构和参数的本征求解器用于基于MEMS的仿真设计
机译:基于静电刚度的新型Z轴谐振微加速度计
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