中赤外線レーザの開発とレーザオートコリメーション法への適用

摘要

超精密加工の高精度化，微細化に伴い，超精密加工に用いられる精密移動ステージの運動誤差の計測や，高精度非球面·自由曲面の形状計測においては，角度変位を高精度に計測するニーズが高まっている．これらの用途に用いられる角度センサとして，レーザオートコリメーション法が開発されており，高分解能な角度計測が行われている．従来，レーザオートコリメーション法には，可視光レーザが用いられている．アライメントの容易さや感度の高い検出器，安価な光学素子が揃っていることから，高い分解能が達成されてきた．