マイクロスタンプを用いたマスクレス微細めっきパターン形成技術の開発（第2報）―マイクロ流路内での電気Cuめっき形成条件の検討

摘要

ナノテクノロジーを牽引する基盤技術の一つである微細加工技術において最も基本となる紫外線·電子線リソグラフィは，装置が高価であり，かつプロセスが複雑となるため，製造にかかる時間とコストの改善が大きな課題となっている．本研究では，マイクロメートルオーダの形状寸法を有する微細な金属構造体を安価に量産し得る製造技術として，新規な微細パターニング技術の確立を目的としている．本報では，マイクロスタンプを用いた位置選択的な電気めっきパターン形成の原理検証ならびに導電性スタンプ作製のための基礎的検討を行った．