タンタルドープ酸化バナジウム膜を用いたボロメータ型赤外線センサの作製工程の検討

摘要

ボロメータ型非冷却赤外線センサの感度向上を目的に、ClF_3ガスを用いた基板のエッチングによって検知部の下にエアギャップを形成している。エアギャップを形成することで、検知部とSi基板を断熱し、検知部が得た熱を逃しにくくすることで感度を向上させる。しかし、ClF_3ガスによるエッチング量が多い場合に、その後の工程で、レジストの剥離が困難になり、さらにアルミニウム電極の剥離により、センサ構造が崩壊していた問題があった。本研究では、ClF_3ガスエッチングのエッチングレートの温度依存性や時間依存性などを調査し、エッチング量を抑え、センサ構造の完成を試みた。