BTESM（ビストリエトキシシリルメタン）を用いたシリカネットワーク制御と気体透過特性

摘要

従来のアモルファスシリカ膜は，Si間に有機官能基のないTetraethoxysilane（TEOS）をシリカ源として製膜された．しかしTEOS膜ではシリカネットワークが緻密になり，ネットワークサイズの制御が困難であった．近年，Si間にエチレン基を有するBis（triethoxysilyl）ethane（BTESE）をシリカ源に用いることで，TEOS膜よりもネットワークサイズをルースに制御できる可能性が報告されている［1，2］．本研究ではシリカ源としてSi間にメチレン基を有するBis（triethoxysilyl）methane（BTESM）を用い製膜し，有機官能基の違いがシリカネットワークに及ぼす影響について検討し，気体透過特性を評価することを目的とする．