大気圧プラズマ処理をこよる光触媒単結晶および活性炭の表面改質

摘要

プラズマとは，固体，液凧気体に続く物質の第4の状態である。プラズマ中には電子，イオン，ラジカルなどが存在するため，化学的に活性で反応性に富hでいる。このため，高度に発達したものづくりにおいてプラズマの果たす役割は大きく，特に集積回路形成プロセスなどの微細加工や機能性薄膜形成では欠くことができない。光触媒や吸着剤などの機能性材料の各種特性は，その表面組成，形状，サイズなどに大きく依存することが知られている。例えば光触媒の場合，光触媒反応に関与する表面積の大きさにその特性が依存するため，特性向上には材料の小型化や多孔質化が要求される。このように，材料の表面状態を制御することはきわめて重要である。本研究では，大気圧プラズマを光触媒単結晶あるいは活性炭表面に照射し，その表面を改質することを目的とした。