バレル部を有する超音速ノズルを用いた超音速フリージェットPVDによる金属膜の膜性状の形成

摘要

超音速フリージェットPVD（以下SFJ-PVDと略言訓も生成直後のナノサイズの粒子を超音速ガス流により加速させ，基材に積層·成膜させる技術である．本法において最も重要な戒漠因子はガス流を超音速に加速させる超音速ノズルの形状である．本研究は，圧縮性流体力学の理論に基づき設計した一次元及び特性曲線ノズルにバレル部を設け，ノズル出口後の噴流挙動を可視化評価，各々のノズルを用いて金属膜を形成し、ノズル形状が及ばす膜性状への影響を評価検討した．