蠕動運動するソフトアクチュエータを駆動源とするマイクロポンプの基礎特性

摘要

導電性高分子ソフトアクチュエータにより蠕動運動するソフトアクチュエータを構築し，それを駆動源とするマイクロポンプの基礎特性を評価した．ソフトアクチュエータの入口側のみに電圧を印加し，入口側と出口側に生じる電圧差を利用することで，蠕動運動を実現した．蠕動運動するソフトアクチュエータを駆動源とするマイクロポンプの流量は0.1～104.3［μl／min］と広範囲の流量域で送液可能であり，最大圧力は31.1［kPa］である．また，水に比べて1000倍粘性の高い流体でさえも送液が可能であることがわかった．