レーザー誘起誘電泳動を用いた新しい光MEMS拡散センサーの開発－マイクロフレネルミラーによる誘電泳動の誘起および拡散現象の観察

摘要

オンサイト診断を実現するためには，流路や分析要素，その他計測に必要な要素をワンチップに集積化する必要がある．本測定法は流路や分析要素，濃度分布形成のためのDEPセル，またDEPに必要な2光束干渉した励起光を形成するための角度を有する2枚のミラー（Micro Fresnel Mirror; MFM）を集積化することができるため，オンサイト診断へのニーズを満たす．本報では，MFMの作製方法を概説し，作製時に生じる応力解析および試験デバイスの作製により，MFM作製の妥当性について報告する．