フィードバック型ノズルフラッパ変位センサの研究

摘要

本研究ではエアマイクロ メータと空気圧サーボアクチュエータを組み合わせ、上記の問題点を克服 した新たな変位センサを提案する。この空気圧サーボのシリンダ部は静圧軸受を採用したアクチュエータで あり、これによりエアマイクロメータと同様に摩擦の ない完全非接触な変位センサとすることが可能であり、 エアマイクロの利点はそのままに、欠点であつたリニアリティの改善と長ス卜ローク化を実現することがで きる。本報告ではセンサの原理と調た特性について 述べる。