Ni-W 電着マイクロダイヤモンド工具の製作条件と加工特性（第1報）-撹拌方法と電流密度が砥粒分布および工具寿命に及ぼす影響

摘要

本研究では，皮膜硬さがNi電着よりも高いNi-W電着に着目し，台金に剛性の高い超硬合金を用いて電着工具を製作することを第1 目標にした．まず最適電着条件の決定のため，電着時における電着液の撹拌の有無が工具表面上のダイヤモンド砥粒の分布に及ぼす影響，電着液中のダイヤモンド砥粒の量と電着時間が砥粒の分布に及ぼす影響について検討した．また製作した電着工具を用いて単結晶シリコンへの溝加工を行ない，工具寿命について調べた．