低圧触針式機上形状測定システムの開発－低圧接触式プローブの改善

摘要

本研究では，より高精度な機上形状測定技術の確立のために最小分解能2.5nm を有する低荷重圧触針式形状測定プローブを新たに開発し，さらにプローブ先端の改良として，一体化されたプローブ（以下，一体化プローブと呼ぶ）の開発を試みた．なお，一体化プローブは，切削加工されたままの一体化プローブと，さらに測定時におけるプローブの傷つき性や摩擦低減のために，DLC(ダイヤモンド·ライク·カーボン)コーティングを施した一体化プローブを用いて，機上形状測定の基礎的検証を行った．加えて，一体化プローブの真球度を高めるために，機上形状測定システムを搭載した超精密多軸加工機を用いて，切削時の形状補正加工を施した一体化プローブの検証も行った．