ナノ秒パルス放電による生成オゾン濃度の時空間分布観測

摘要

オゾンは自然界でフッ素に次ぐ強い酸化力を持つことから殺菌や脱臭·脱色等、酸化剤として産業で応用されている。現在、大容量のオゾンが生成可能な誘電体バリア放電が主流になっているが、熱の発生に起因するエネルギー効率の低下が課題となっている。そこで我々は熱損失の少ないナノ秒パルス放電を用いてオゾン生成を行っており、従来の放電法に比べて世界最高レベルの効率を達成している。しかし、現状オゾン濃度が約40g／m~3で飽和しているため、工業用実用化を見据えた100g／m~3を目標としている。本研究では、放電管内生成オゾン濃度の時空間分布調査を行うことでオゾン生成過程を解明し、オゾン濃度が飽和する原因の究明を目指している。本稿ではその導入として、ナノ秒パルス放電を用いたオゾン生成において印加電圧·周波数が生成オゾン濃度に与える影響について述べる。