Bau von Behaltern und Rohrsystemen fur Hochtechnologieapplikationen in Wissenschaft, Forschung und Anwendung

摘要

Bau und Betrieb von hochreinen Kammern und Anlagen sind nicht moglich ohne die Anwendung und die Einhaltung anspruchsvoller Standards, die in diesem Vortrag erlautert werden. Sie erfordern die Anwendung spezifischer Mess- und Pruftechniken, die am Bauteil zerstorungsfrei vorgenommen werden mussen, und den Einsatz spezieller Fertigungstechnologien. Anwendungen finden sich mittlerweile in fast allen Bereichen der Forschung, aber auch der Industrie. Praxisbeispiele fur die Bereiche Beschleunigertechnik und wissenschaftliche Gerate werden vorgestellt.