laser; MEMS; microhotplate; gas sensor.;
机译:用于MEMS传感器应用的飞秒激光烧蚀金刚石膜的制造
机译:MEMS平台上嵌入式共面镍合金微加热器的高灵敏度甲烷传感器的低温制作
机译:基于微电子的压阻传感器的制造,校准和初步测试,用于生物莫莫姆斯应用
机译:通过激光微雕刻制造MEMS平台,用于传感器应用
机译:用于BioMEMS应用的基于聚合物的微流体平台的设计和制造。
机译:通过激光雕刻快速通用地制造PMMA微芯片电泳设备
机译:通过激光微雕刻制作用于传感器应用的MEMS平台
机译:使用碳纳米管和mEms制造技术的微化学和气体传感器