c軸配向窒化ケイ素セラミックスの微構造と熱伝導率

摘要

β窒化ケイ素（Si_3N_4)はa軸方向よりもc軸方向に高い熱伝導率を有しているため，c軸配向させることで特定の方向に高熱伝導率を発現できると考えられる．他方, 熱伝導率は微構造により大きく農響を受ける．β-Bi_3N_4の微構造は，c軸方向に成長する六角柱状粒子から構成されており，柱状粒子の寸法と分布は種結晶の添加で制御できることが知られている。そこで本研究では，β-Si_3N_4種結晶を添加したスラリーを用いて磁場中成形することにより，c軸配向Si_3N_4セラミックスを作製し，その微構造と熱伝導率の関係を明らかにすることを目的とした．