nanolithography; silicon; sputter etching; DRIE; deep reactive ion etching; high-aspect-ratio silicon nanostructures; interference lithography; nanograting; nanopost patterns; pointed re-entrant profile tips; sidewall profiles; silicon nanostructure fabrication; the;
机译:具有侧壁轮廓和尖端锐度控制的大型样品区域上密集纳米结构的密集阵列的制造
机译:基于热氧化的锐化机制用于超尖锐硅纳米尖端制备的建模和实验验证
机译:具有可控侧壁轮廓的高阶硅纳米线阵列的制造,以实现低表面反射
机译:具有各种侧壁轮廓和尖锐尖端的硅纳米结构的制造
机译:感应耦合等离子体中的硅,二氧化硅和铌酸锂的侧壁轮廓和蚀刻机制。
机译:在分批制造过程中将尖锐的氮化硅尖端集成到高速SU8悬臂中
机译:通过现场辅助氧气蚀刻和锐化尖端的电子发射制造W提示
机译:用KOH /醇/水蚀刻制备真空微电子的硅场发射尖端。