accelerometers; bonding processes; electronics packaging; hermetic seals; integrated circuit design; micromachining; microsensors; random noise; readout electronics; semiconductor device reliability; silicon; EEPROM trimmable architecture; MEMS accelerometers; Si; cap;
机译:基于金属粘合的密封晶片级MEMS包装技术,采用平面内馈通:厚金膜馈通的密闭性和高频特性
机译:用于两芯片实现的噪声整形加速度计接口电路
机译:低温密封热压缩粘合,采用电镀铜密封框架通过飞行切割用于晶圆级MEMS包装
机译:两片式晶圆级气密封装加速度计,用于战术和惯性应用
机译:一种基于加速度计的手势识别系统,用于战术通信应用程序。
机译:使用预图案化BCB聚合物的RF MEMS应用的晶圆级封装方法
机译:用于RF MEMS的密封晶片级包装:对谐振器性能的影响