CMOS analogue integrated circuits; accelerometers; amplifiers; capacitive sensors; circuit noise; integrated circuit design; micromachining; microsensors; power consumption; random noise; sensitivity; silicon-on-insulator; substrates; switched capacitor networks; 6 mW;
机译:用于微基卡仪的164NW基于逆变器的电容读数IC
机译:具有自检电路的低失真ΣΔ电容式微加速度计
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机译:亚微重力电容式SOI微加速度计
机译:用于集成亚微重力电容SOI加速度计的混合信号低噪声sigma-delta接口IC。
机译:用于物联网的低成本电容式土壤湿度传感器的特性
机译:使用SOI晶片的阳极粘接工艺进行空气耦合圆形电容微机械超声换能器的有限元模拟