1-silicon deposit; 2- thermal plasma; 3-hydrogenation;
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机译:用光发射光谱法研究用于硅沉积的氩氢射频感应热等离子体炬
机译:一种基于电热耦合等离子体微电流光发射光谱法的电热耦合等离子体微电流光学发射光谱法的微分性方法:与电感耦合等离子体光发射光谱比较
机译:光谱诊断氩气RF感应热等离子体火炬的光谱诊断
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机译:用于高功率,RF感应耦合等离子体的光学诊断