SOI バルクマイクロマシニングと金属メッキの組み合わせによるマルチターゲット天文分光器用マイクロシャッタアレイ

摘要

本研究では，マルチターゲット型の天体望遠鏡·分光器への搭載を目指し，従来の金属スリットに代わる新たなデバイスとしてMEMS シャッタアレイの開発を行っている。シャッタおよびサスペンションの周囲に形成した開口部からの迷光を遮断するために，これまでに製作済みのマイクロシャッタに金属めっきによるひさしを追加したデバイスを新たに製作した。さらにこのひさしを電極として使用し，シャッタと基板と合わせて3 系統の電極を用いることで複数シャッタマトリクスの静電ラッチ、アドレッシングが可能となり，大規模デバイスで生じる電気配線スペース不足への対応も可能となった。今後は，実際のデバイスにおいて複数シャッタのアドレッシング駆動試験を行い，マイクロシャッタの電気機械的耐久性試験，光学的特性（遮光率）,信頼性評価（極低温環境下での動作）などに関して，天文観測用の実用デバイスとしての評価を行い，順次改良を行っていく。