Sidewall Roughness; CD-AFM; TEM; Tomography; 3D Metrology; Fin-FET;
机译:抗蚀剂侧壁形态对蚀刻过程中线边缘粗糙度降低和转移的影响:显影后的抗蚀剂侧壁是各向同性还是各向异性的?
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机译:直接利用侧壁粗糙度发展泥岩侧阻力的数值模拟
机译:朝向侧壁粗糙度标准的发展
机译:询问全球发展责任标准的双重标准:马拉维和英国的案例
机译:基于microCT的增材制造质量控制的标准方法3:表面粗糙度
机译:了解三维侧壁粗糙度对扫描电子显微镜图像中观察到的线边粗糙度的影响