Sensitivity; Temperature measurement; Frequency measurement; Accelerometers; Resonant frequency; Acceleration; Force;
机译:新型双轴硅谐振微加速度计的设计与仿真
机译:新型硅双轴解耦谐振微加速度计
机译:硅谐振加速度计的设计与分析
机译:优化硅共振加速度计的能量方法
机译:能量有限元法和能量边界元法对高频结构声学问题的设计灵敏度分析和优化。
机译:硅谐振加速度计嵌入带有应力释放锚定的隔离框架中
机译:微机械硅谐振加速度计的设计与实现
机译:硅微机械加速度计/地震计及其制造方法