Collector mirror; thermal stability; multilayer coating; optics lifetime;
机译:高功率LPP-EUV源具有长集电极镜终型的半导体高卷制造
机译:大功率LPP-EUV源具有长的收集器镜寿命,可用于半导体大批量生产
机译:优化挡风玻璃,以最大程度减少抛物线槽式集热器装置中的集光镜污染
机译:高温LPP收集镜的增强的反射率和稳定性
机译:带有菲涅耳浓缩器的高温线性辐射腔太阳能集热器。
机译:通过优化镜面散焦来减少线性菲涅尔收集器太阳能场中耦合热脱盐厂的电能消耗
机译:高功率LPP-EUV源,具有长集电极镜终型半导体高卷制造
机译:高浓度镜面收集器和收集器系统的性能