extreme ultraviolet; lithorgraphy; reflectomety; EUV optics; ruthenium films; lifetime testing;
机译:太阳能X-EUV成像仪中的EUV多层镜子
机译:使用EUV驻波测量EUV多层镜反射的相位
机译:掺on对EUV光刻应用中Mo / Si多层反射镜中光学性能和混合的影响
机译:EUV多层镜测试:关键问题
机译:用于多层反射镜的EUV /软X射线区域中材料的光学常数。
机译:临床实验室统计测试的关键问题和新趋势
机译:在烃类环境中EUV多层反射镜的加速寿命计量
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