Boron; Silicon; Conductivity; Ions; Annealing; Ion implantation; Substrates;
机译:通过原子探针层析成像和扩散电阻测量研究了碳共注入对硅中硼分布和活化的影响
机译:碳膜作为光吸收层的红外半导体激光退火对硅晶片中注入的硼原子的活化
机译:以碳粉为热源通过微波退火活化注入磷和硼原子的硅
机译:两步离子注入用于在300°C下激活硅中的硼原子
机译:离子注入的硼在硅中的扩散:晶格缺陷和共注入杂质的影响。
机译:硼植入的硅基质可物理吸附DNA折纸
机译:非晶相对离子植入硅硼原子分布的影响