high-volume EUV lithography; source optimization; contrast optimization; diffraction; edge placement error;
机译:装配自动化的灵活进料:随着高混合量,小批量生产的增加,对灵活进料器的需求也在增加
机译:1000例读者读者辐射学师对计算机辅助检测系统自动仓库扫描仪图像解读中的性能研究
机译:模因算法与种群管理相适应,以改善柔性制造系统的性能
机译:高音量制造EUV扫描仪的成像性能的改进,特别强调了新照明器的附加值,以增加瞳孔灵活性
机译:高灵活性小批量制造系统中用于生产计划的制造灵活性的表征和测量。
机译:使用3-D自动乳房体积扫描仪图像对乳腺癌患者的乳房和肿瘤体积进行测量
机译:双源计算机断层扫描仪的图像质量和剂量测定,特别侧重于胸部检查中的肺部辐射剂量
机译:EUV掩模成像显微镜中的瞳孔成形和相干控制。