Gyroscopes; Nanoelectromechanical systems; Piezoresistance; Micromechanical devices; Sensors; Circuit stability; Springs;
机译:基于压阻NEMS驱动和感测运动检测的MEMS陀螺仪
机译:基于压阻NEMS检测的面内和面外MEMS陀螺仪
机译:用于高级传感应用的VHF NEMS-CMOS压阻谐振器
机译:基于压阻式NEM的超低压陀螺仪,用于驱动运动和科里奥利 - 运动传感
机译:热压电阻和压电M / NEMS谐振器的面向应用的批量制造和系统级集成
机译:具有压阻转导的自上而下的CMOS-NEMS多晶硅纳米线
机译:基于压阻NEMS检测的面内和面外MEMS陀螺仪