Mode localization; MEMS accelerometer; mechanical coupler; parametric sensitivity;
机译:利用非线性来提高基于静电耦合MEMS谐振器的模式局部质量传感器的灵敏度
机译:基于微机电系统(MEMS)基于电容式加速度计的麦克风,具有增强的灵敏度,可实现完全植入的助听器:一种新的分析方法
机译:使用机械放大机制提高MEMS加速度计的灵敏度
机译:机械耦合模式局部记忆加速度计中使用微杠杆耦合器提高参数灵敏度
机译:用于电容MEMS加速度计灵敏度表征的仅电刺激BIST IC
机译:低G MEMS加速度计具有高灵敏度低非线性和基于3-DOF弱耦合谐振器的模式定位的大动态范围
机译:增强电耦合mEms谐振器的参数灵敏度