用于微光机械加速度计的耦合器设计

摘要

目前，在微电子和微机械装置的作用下，微光机械系统(MOEMS)传感技术在很多领域被研究应用，该系统以其体积小、成本低、可靠性高、智能化等特点深受国内外专家学者的青睐。在微光电子机械系统理论的基础上,设计了应用于光波导加速度系统的双Y分支1×4耦合器.对微光机械系统做了简要介绍,对所设计的系统耦合器进行了理论研究和计算,并对系统进行了结构优化,采用S型反正弦波导连接两平行直波导的弯曲波导.设计的耦合器长度为20.4mm,具有结构紧凑、损耗低、不易受外部温度影响等特点.