CMOS-MEMS; Fully-differential capacitive sensing; Multi-channel readout circuit; Pure oxide structure;
机译:利用CMOS-MEMS技术实现单片单质量三轴加速度计
机译:用于温度稳定和性能增强的单片CMOS-MEMS纯氧化物三轴加速度计
机译:具有MHz级高谐振频率的单片集成的三轴冲击加速度计
机译:与三轴纯氧化物电容式CMOS-MEMS加速度计单片集成的全差分,多路复用传感接口电路
机译:集成CMOS-MEMS惯性传感器的低噪声和低功耗接口电路设计
机译:单晶硅晶片中单片集成三轴高冲击加速度计的设计制造和测试
机译:单一(111)-Silicon晶片中单整体集成的三轴高冲击仪的整体集成三轴高冲击仪的设计,制造和测试
机译:用于Gaas单片集成电路的钽氧化物电容器