$100-mu mathrm{m}$ scale p
Micromechanical devices; Fabrication; Transducers; Absorption; Detectors; Silicon; Time factors;
机译:基于中红外区的集成多层吸收体结构的SU-8环氧膜基热电堆探测器的制造与表征
机译:具有谐振腔吸收体结构的热电芯片光学利用用作红外吸收器
机译:蓝宝石的晶片级外延单晶Ni(111)薄膜石墨烯生长
机译:基于湿法刻蚀(111)晶片的单晶硅纳米壁结构的精确宽度控制
机译:扫描隧道显微镜研究铑(111)和铂(111)单晶表面上分子单层的结构和动力学。
机译:单晶硅晶片中单片集成三轴高冲击加速度计的设计制造和测试
机译:用于中红外区域的集成多层吸收器结构的苏-8环氧膜系的制造与表征