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张琛琛;
中北大学;
机译:使用小型薄膜叠层增强CMOS-MEMS热电堆红外探测器的性能
机译:具有SU-8膜的热电堆红外探测器的热仿真和设计优化
机译:基于多功能热电堆MEMS芯片的智能热真空传感器
机译:基于黑硅吸收的热电堆红外探测器的设计
机译:具有腔耦合吸收技术的非制冷热电堆红外探测器的设计与制造
机译:亚波长矩形孔阵列提高了CMOS兼容热电堆的红外吸收率
机译:基于MEMS的四波长混合等离子体 - 热电红外探测器
机译:基于mEms的热电堆红外探测器阵列,用于化学和生物传感
机译:黑硅基高性能MEMS热电堆红外探测器及其制造方法
机译:高性能MEMS热电堆红外探测器的结构与制造方法
机译:用于热电堆或测辐射热计的红外传感器,其薄膜支撑在具有绝缘膜的基板上,该绝缘膜携带红外吸收膜作为检测器
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