electron beam lithography; field emitter array; gate aperture;
机译:连续路径控制电子束光刻技术制备的切趾环孔衍射轴锥
机译:来自具有大准直栅极孔径的双栅极场发射器阵列的高度准直的电子束
机译:通过电子束光刻技术来生成高密度的Ge和Bi2Se3纳米线阵列的抗蚀剂-衬底界面定制
机译:通过电子束光刻制造用于Mo-FEA的高密度栅孔径阵列
机译:用于多束电子束光刻的薄膜栅极光阴极。
机译:电子束与聚焦离子束光刻技术制备的等离激元天线的比较研究
机译:来自具有大准直栅极孔径的双栅极场发射器阵列的高度准直的电子束