MEMS; accelerometer; piezoresistance; simulation;
机译:具有单个传感元件的整体式高冲击三轴压阻加速度计的灵敏度优化
机译:具有统一灵敏度的单片式三轴SOI加速度计
机译:单片压阻高克三轴加速度计的制作与表征
机译:具有均匀轴向敏感性的三轴压阻式加速度计
机译:开发三轴MEMS加速度计。
机译:具有SPB的新型压阻加速度计可改善灵敏度和谐振频率之间的平衡
机译:具有可调节轴向分辨率的三轴压阻式加速度计
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试