magnetron sputtering; thickness uniformity of thin film; baffle, finite element; relative deviation of thin film thickness;
机译:厚度和微观结构对RF磁控溅射沉积Mg掺杂CuCrO_2铜铁矿薄膜热电性能的影响
机译:厚度对溅射磁控沉积的Ga掺杂ZnO薄膜结构,光学和电性能的影响(Vol 695,PG 697,2017)
机译:厚度对溅射磁控沉积的Ga掺杂ZnO薄膜结构,光学和电性能的影响
机译:多工件射频磁控溅射沉积薄膜的厚度均匀性
机译:磁控共溅射沉积组成梯度锶锶镧锰矿薄膜的综合研究。
机译:氧浓度对超薄射频磁控溅射沉积铟锡氧化物薄膜作为光伏器件上电极的性能的影响
机译:射频磁控溅射沉积ZnO薄膜的微观结构及其电学和光学性质的厚度依赖性