机译:高功率密度热等离子体射流诱导的硅晶圆毫秒快速热退火及其在超浅结形成中的应用
机译:热等离子体射流辐照在毫秒退火过程中超浅结中B和As的活化
机译:热等离子体射流辐射引起的毫秒快速热退火过程中硅晶片温度变化的原位测量
机译:大气压热等离子体射流辐照引起的毫秒退火及其在超浅结形成中的应用
机译:大气压氩等离子体射流与空气杂质的等离子体化学建模,用于等离子体医学应用
机译:通过冷大气压等离子体射流照射到水中而形成的活性氧取决于照射距离
机译:毫秒退火的超浅结中器件引起的负偏置温度不稳定性