phase shifting masks; size measurement; electric resistance measurement; atomic force microscopy; phase-shifting mask test structures; feature size electrical measurement; alternating aperture phase-shifting mask; Greek cross structures; sheet resistance extraction; linewidth structure measurement; critical dimension offset variability reduction; phase-shifting elements; atomic force microscope measurements;
机译:在二进制和交替孔径相移掩模上进行电学和SEM CD测量的比较
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机译:使用一个测量员电视摄像机进行距离测量的孔径掩模